Διεργασίες Παραγωγής Υλικών Κωδικός μαθήματος: E781 Εξάμηνο: Εαρινό Πιστωτικές μονάδες ECTS: 8 Όνομα διδασκόντων: Δημήτρης Σ. Ματαράς/ Κώστας Γαλιώτης Επιδιωκόμενα μαθησιακά αποτελέσματα: Εισαγωγή στις ιδιαίτερες τεχνολογίες παραγωγής και τις εφαρμογές προηγμένων υλικών στη μορφή λεπτών υμενίων, νανοδομών και νανοσωματιδίων. Graduate Course: Advanced Materials Processing

Διεργασίες Παραγωγής Υλικών Δεξιότητες: Ανάπτυξη ικανοτήτων συγκριτικής βιβλιογραφικής διερεύνησης και παρουσίασης ερευνητικών θεμάτων καθώς και στη διατύπωση ερευνητικών προτάσεων. Περιεχόμενα (ύλη) του μαθήματος: Μέθοδοι εναπόθεσης λεπτών υμενίων. Εισαγωγή στην τεχνολογία του κενού. Φυσικές, φυσικοχημικές και χημικές μέθοδοι εναπόθεσης λεπτών υμενίων και τροποποίησης επιφανειών. Εξάχνωση και επιταξία. PVD και ΜΒΕ. Εισαγωγή στο θερμικό CVD. Αντιδραστήρες θερμών και ψυχρών τοιχωμάτων. Άλλες μέθοδοι CVD. Σύγκριση μεθόδων CVD. Διεργασίες πλάσματος: Εισαγωγή στο πλάσμα. Sputtering, Etching, PE-CVD, Surface Functionalization. Μηχανισμοί και κινητική των διεργασιών πλάσματος. Αντιδραστήρες πλάσματος. Διαγνωστικές μέθοδοι του πλάσματος. Έλεγχος δομής των υλικών στις διεργασίες πλάσματος. Παραδείγματα διεργασιών δημιουργίας νανοδομημένων υλικών και συσκευών: Thin film silicon, Low and High-k dielectrics, Diamond-Like coatings, MEMS και NEMS, superhard coatings, έλεγχος της επιφανειακής ενέργειας και βιοσυμβατότητα, superhydrophobic and superhydrophylic coatings, carbon nanotubes. Graduate Course: Advanced Materials Processing

Διεργασίες Παραγωγής Υλικών Κάθε φοιτητής προετοιμάζει δύο παρουσιάσεις με βάση πρότυπα σε θέμα που επιλέγεται από κοινού με τον διδάσκοντα και δεν είναι σχετικό με το θέμα με το οποίο ασχολείται ερευνητικά ο φοιτητής. Α' Παρουσίαση: Σε κάθε φοιτητή ανατίθεται ένα θέμα από τα αντικείμενα του μαθήματος που αφορά συγκεκριμένο υλικό και τις εφαρμογές του. Ο φοιτητής πρέπει να διεξάγει βιβλιογραφική έρευνα και να δημιουργήσει παρουσίαση του υλικού, των ιδιοτήτων του, των εφαρμογών του και των μεθόδων παρασκευής του υπό τη μορφή λεπτών υμενίων ή/και νανοδομών. Η παρουσίαση πρέπει να καταλήγει στην επιλογή της πιο ενδιαφέρουσας εφαρμογής και της πιο πρόσφορης μεθόδου παρασκευής του υλικού για αυτή την παρασκευή. Graduate Course: Advanced Materials Processing

Διεργασίες Παραγωγής Υλικών Β' Παρουσίαση: Γίνεται λεπτομερής παρουσίαση της επιλεγμένη εφαρμογής και των επιθυμητών ιδιοτήτων του υλικού. Παρουσιάζεται αναλυτικά η μέθοδος παρασκευής του υλικού δίνοντας έμφαση στην επίδραση που έχουν οι παράμετροι λειτουργίας στις επιθυμητές ιδιότητες του υλικού. Γίνεται ανάλυση της πρόσφατης βιβλιογραφίας. Η παρουσίαση πρέπει να καταλήγει στη διατύπωση ερευνητικής πρότασης για το συγκεκριμένο θέμα που να μην καλύπτεται από την υπάρχουσα βιβλιογραφία. Graduate Course: Advanced Materials Processing

Διεργασίες Παραγωγής Υλικών Μέθοδοι αξιολόγησης/ βαθμολόγησης Το 90% της βαθμολογίας προκύπτει από τις δύο παρουσιάσεις. Βαθμολογούνται εξ' ίσου οι δύο παρουσιάσεις των φοιτητών όσον αφορά την ποιότητα της παρουσίασης, τον βαθμό κατανόησης των βασικών φαινομένων, των διεργασιών και των εφαρμογών. Το 10% της βαθμολογίας προκύπτει από την ποιότητα της ερευνητικής πρότασης. Αξιολογείται κατά πόσο η πρόταση είναι ρεαλιστική και πρωτότυπη. Γλώσσα διδασκαλίας: Ελληνική και Αγγλική URL μαθήματος- https://eclass.upatras.gr/courses/CMNG2105 Graduate Course: Advanced Materials Processing