Institutul National de Cercetare Dezvoltare pentru Microtehnologie (IMT- Bucuresti) www.imt.ro MICROSISTEME INTEGRATE DE TIP RF MEMS REALIZATE PE SILICIU, GALIU-ARSEN SI SEMICONDUCTORI DE BANDA LARGA PENTRU APLICATII IN DOMENIUL COMUNICATIILOR AVANSATE Contact: Dr. Alexandru Muller – alexm@imt.ro Se prezinta demonstratoare originale pentru antene Yagi-Uda de 60GHz pe membrane de GaAs, antene Yagi-Uda de 77 GHz obtinute prin microprelucraea siliciului si receptor microprelucrat pentru 60 GHz realizat pe GaAs Structurile sunt realizate prin procese tehnologice noi, care se bazeaza pe microprelucrarea galiu-arsen si siliciu de inalta rezistivitate PROIECTARE SI FABRICATIE Proiectarea componentelor suspendate pe membrane au fost modelate si proiectate folosind pachetul software de simulare electromagnetica tridimensionala IE3D Zeland Ltd. Antenele Yagi-Uda de 60GHz pe membrane de GaAs, s-au realizat printr-un proces tehnologic nou, care se bazeaza pe combinarea microprelucrarii de suprafata cu microprelucrarea de volum a GaAs, cu ajutorul corodarii RIE. Antene Yagi-Uda de 77 GHz obtinute prin microprelucraea siliciului, au fost realizate printr-un proces tehnologic de microprelucrare a plachetelor de siliciu de inalta rezistivitate, de orientare <100> si 400μm grosime, bazat pe corodarea anizotropa a siliciului. Receptor microprelucrat pentru 60 GHz realizat pe GaAs, s-au realizat prin integrarea monolitica a unei diode Schottky cu o antena Yagi-Uda, ambele suspendate pe membrana microprelucrata. Antena Yagi 60GHz - vedere de sus Antena Yagi 77GHz – vedere de pe fata Structura de modul receptor APLICATII: Demonstratoarele contribuie la dezvoltarea unei noi generatii de circuite bazate pe tehnologii MEMS dedicate comunicatiilor in unde milimetrice. Noile microsisteme RF vor imbunatatii performantele front-end-urilor si circuitelor existente in domeniul undelor milimetrice. Detaliu SEM cu zona antenei din structura de receptor integrat pentru 60 GHz Centrul de Transfer Tehnologic pentru Microinginerie CTT-BANEASA © 2007 IMT-Bucharest info-ctt@imt.ro