Καθαρισμός Δειγμάτων (Corning glass – Wafer Si)

Παρουσίαση με θέμα: "Καθαρισμός Δειγμάτων (Corning glass – Wafer Si)"— Μεταγράφημα παρουσίασης:

1 Καθαρισμός Δειγμάτων (Corning glass – Wafer Si)

2 Βήμα 1ο Σε υδροφθόριο (HF) σε μορφή διαλύματος, εμβαπτίζουμε μόνο το δείγμα Si για 1-2 (min). Αυτό γίνεται για να απαλλαγούμε από τυχόν οξείδια του Si που μπορεί να υπάρχουν στην επιφάνεια του δείγματος και τα οποία μπορεί να δημιουργήσουν προβλήματα στις ηλεκτρικές ιδιότητες του δείγματος, όπως εταιροεπάφές κλπ. Χρησιμοποιούμε πάντα πλαστικό σκεύος και πλαστική τσιμπίδα, ενώ φοράμε πλαστικά γάντια, αλλά και μάσκα για την αποφυγή εισπνοής αναθυμιάσεων. Καλό είναι η όλη εργασία να γίνεται μέσα σε απαγωγό. Πλένουμε καλά το δείγμα με απιονισμένο νερό.

3 Βήμα 2ο Εμβαπτίζουμε και τα δύο δείγματα (Corning glass και Wafer Si) σε διάλυμα Μεθανόλης (CH3OH) και τα βάζουμε σε συσκευή υπερήχων για 5 (min).

4 Βήμα 3ο: Βγάζουμε και τα δύο δείγματα από το διάλυμα Μεθανόλης, πρώτα το ένα και μετά το άλλο και τα ψεκάζουμε με πιστόλι Αζώτου (Ν) μέχρι να στεγνώσουν. Τώρα τα δείγματά μας είναι έτοιμα να εισαχθούν στη συσκευή του sputtering. Εξυπακούεται ότι θα πρέπει κατά τη διάρκεια του καθαρισμού των δειγμάτων μας, να έχουμε είδη εκκινήσει και τη διαδικασία του σπασίματος κενού στη συσκευή του sputtering έτσι ώστε να μπορούμε να εισάγουμε απευθείας τα δείγματα μας.

5 Τοξικότητα - Προφυλάξεις κατά τη χρήση HF- Αποθήκευση

6 Το υδροφθορικό οξύ είναι πολύ τοξικό και μπορεί να αποβεί θανατηφόρο σε περίπτωση εισπνοής ή κατάποσης. Η εισπνοή ppm HF στον αέρα για λεπτά μπορεί να είναι θανατηφόρος. Είναι πιθανώς μεταλλαξιογόνο. Στα εγκαύματα από υδροφθορικό οξύ, πρέπει να χορηγείται διάλυμα γλυκονικού ασβεστίου, να παρακολουθούνται τα επίπεδα του ασβεστίου και του μαγνησίου και να γίνεται συχνός ηλεκτροκαρδιογραφικός έλεγχος προς αντιμετώπιση πιθανών συστηματικών επιπλοκών.

7 Το υδροφθορικό οξύ δεσμεύει τα δισθενή κατιόντα του ασβεστίου και του μαγνησίου με αποτέλεσμα την πτώση του επιπέδου αυτών στο πλάσμα, η οποία όταν γίνεται σε μεγάλο βαθμό δεν μπορεί να αντισταθμιστεί με την μετακίνηση κατιόντων από τα οστά. Η υπασβεστιαιμία σε συνδυασμό με την αύξηση της διεγερσιμότητας του μυοκαρδίου, που απευθείας προκαλεί το υδροφθορικό οξύ, προκαλούν την εμφάνιση ανθεκτικών στη θεραπεία αρρυθμιών, κυρίως κοιλιακής μαρμαρυγής.

8 Κατά τη χρήση υδροφθορικού οξέος είναι απαραίτητη η χρήση γαντιών (τα οποία όμως δεν παρέχουν επαρκή προστασία), μάσκας προσώπου ή γυαλιών ασφαλείας και ποδιάς. Το υδροφθορικό οξύ δεν πρέπει σε καμία περίπτωση να αναμιγνύεται με αμμωνία ή με εμπορικά προϊόντα που περιέχουν αμμωνία διότι η αντίδραση συνοδεύεται από έκρηξη.

9 Λόγω της υψηλής δραστικότητας του προς το γυαλί, το υδροφθορικό οξύ πρέπει να αποθηκεύεται (σε μικρές ποσότητες) σε δοχεία από κερί, πολυαιθυλένιο ή teflon. Το πολυαιθυλένιο δεν προσβάλλεται από υδροφθορικό οξύ 40 % μέχρι τους 100 °C. Το teflon είναι το πλέον ανθεκτικό. Αντέχει οξύ περιεκτικότητας 40 % μέχρι τους 250 °C. Απρόσβλητα είναι και τα σκεύη από λευκόχρυσο, χρυσό και παλλάδιο για περιεκτικότητες οξέος 40 % και μέχρι το σημείο βρασμού του.