Η παρουσίαση φορτώνεται. Παρακαλείστε να περιμένετε

Η παρουσίαση φορτώνεται. Παρακαλείστε να περιμένετε

SEM S canning E lectron M icroscope Ηλεκτρονιακό Μικροσκόπιο Σάρωσης Quanta 200 FEI Company.

Παρόμοιες παρουσιάσεις


Παρουσίαση με θέμα: "SEM S canning E lectron M icroscope Ηλεκτρονιακό Μικροσκόπιο Σάρωσης Quanta 200 FEI Company."— Μεταγράφημα παρουσίασης:

1 SEM S canning E lectron M icroscope Ηλεκτρονιακό Μικροσκόπιο Σάρωσης Quanta 200 FEI Company

2 Οι Max Knoll και Ernst Ruska κατασκευάζουν το πρώτο ηλεκτρονιακό μικροσκόπιο διαπερατότητας (TEM)

3 Ηλεκτρονιακά Μικροσκόπια Ηλεκτρονιακό Μικροσκόπιο Σάρωσης S canning E lectron M icroscope Ηλεκτρονιακό Μικροσκόπιο Διερχόμενης Δέσμης T ransmission E lectron M icroscope Ηλεκτρονιακό Μικροσκόπιο Σάρωσης Διερχόμενης Δέσμης S canning T ransmission E lectron M icroscope Ηλεκτρονιακό Μικροσκόπιο Υψηλής Ανάλυσης Διερχόμενης Δέσμης H igh R esolution T ransmission E lectron M icroscope

4 TEM Διάφορα είδη ηλεκτρονιακής μικροσκοπίας

5 Οπτικό μικροσκόπιο - SEM

6 Σχηματικό Διάγραμμα Μικροσκοπίου

7 Εισαγωγή δείγματος Αγώγιμη ταινία άνθρακα Ελάχιστη ποσότητα δείγματος Δειγματοφορέας

8 Πηγή ηλεκτρονίων Νήμα βολφραμίου

9 Διάγραμμα δέσμης ηλεκτρονίων

10 Υψηλό κενό (High Vacum ≈ 2▪e-3 Pa) Χαμηλό κενό (Low Vacum 3-12 Pa) Περιβάλλοντος (ESEM, Environmental Scanning Electron Microscopy) Σύστημα κενού με δύο αντλίες Πίεση θαλάμου δείγματος

11 Ογκος αλληλεπίδρασης Δείγμα Δέσμη ηλεκτρονίων Διερχόμενα e- Ελαστικά Σκεδαζόμενα e- Μη Ελαστικά Σκεδαζόμενα e- Θέρμανση Φόρτιση Ακτίνες Χ Δευτερογενή e- Οπισθοσκεδαζόμενα e- Φωτόνια Auger e- Αλληλεπιδράσεις δέσμης-δείγματος

12 E0E0E0E0 E1E1E1E1 eeee E0E0E0E0 E1E1E1E1 iiii Ελαστική σκέδαση Μη ελαστική σκέδαση Οπισθοσκεδαζόμενα ηλεκτρόνια B ack S cattered E lectrons Δευτερογενή ηλεκτρόνια S econdary E lectrons

13 Οπισθοσκεδαζόμενα ηλεκτρόνια Εικόνα οπισθοσκεδαζομένων ηλεκτρονίων Ανιχνευτής οπισθοσκεδαζομένων ηλεκτρονίων

14 Δευτερογενή ηλεκτρόνια Εικόνα δευτερογενών ηλεκτρονίων

15 Γεωμετρία ανιχνευτών Εξοδος στήλης ΓωνίαΕκπομπής  Γωνία συλλογής  SED Δείγμα BSD Ανιχνευτής ΒSE 4.Φωτοπολλαπλασιαστής 3.Αγωγός φωτός β) στόχος α) οθόνη φωσφόρου α) οθόνη φωσφόρου (Al-coated) (Al-coated) (+10 kV) (+10 kV) 1.Πλέγμα (κελλί Faraday) ( V) 2.Σπινθηριστής 5.Ενισχυτής Ανιχνευτής SE

16 Ανιχνευτές Ανιχνευτής οπισθοσκεδαζόμενων ηλεκτρονίων: (Solid-State Detector) Ανιχνευτής δευτερογενών ηλεκτρονίων: (Everhart-Thornley)

17 ~ 10 nm: SE...μορφολογία ~ 1-2  m: BSE..σύσταση ~ 2-5  m: ακτίνες Χ στοιχειακή ανάλυση Ηλεκτρόνια δέσμης Βάθος αλληλεπίδρασης

18 Επίδραση δυναμικού επιτάχυνσης και ατομικού αριθμού στο βάθος αλληλεπίδρασης

19 Απεικόνιση δείγματος Η εικόνα σχηματίζεται όταν λαμβάνεται το σήμα από το δείγμα και μεταφέρεται σε μία οθόνη CRT

20 Μεγέθυνση Η μεγέθυνση δημιουργείται μειώνοντας το μέγεθος της επιφάνειας από την οποία λαμβάνεται το σήμα και καθορίζεται από το λόγο: Mag. = L 2 /L 1

21 Εικόνες Δευτερογενών ηλεκτρονίων Ψηφιακής μίξης Οπισθοσκεδαζόμενων ηλεκτρονίων

22 Συνεχές φάσμα ακτίνων Χ Χαρακτηριστικές Κ γραμμές Χαρακτηριστικές L γραμμές

23 Auger ηλεκτρόνια

24 Ανιχνευτής Ακτίνων Χ

25 Σειρά ατομικού αριθμού χαρακτηριστικών Κ γραμμών

26 Element wt % Grey Ag 7.89 Cd 0.50 Cu Zn White Zn 6.17 Ag Cd Στοιχειακή ανάλυση σημείου

27 Διατομή άρθρωσης συγκόλλησης Pb/Sn σε ένα επινικελωμένο σύρμα Cu/Pb SEM image 2500x Στοιχειακή χαρτογράφηση SEM image 2500x Διατομή άρθρωσης συγκόλλησης Pb/Sn σε ένα επινικελωμένο σύρμα Cu/Pb SEM image 2500x Διατομή άρθρωσης συγκόλλησης Pb/Sn σε ένα επινικελωμένο σύρμα Cu SEM image 2500x Συνδυασμός της αποτύπωσης της κατανομής των στοιχείων: Ni, Sn, Pb

28 Παράγοντες που επηρρεάζουν την ποιότητα της εικόνας •Εστίαση της δέσμης •Αστιγματισμός της δέσμης •Δυναμικό επιτάχυνσης •Διάμετρος δέσμης •Απόσταση εργασίας •Απόσταση πηγής από την άνοδο

29 FocusOver FocusUnder Focus Εστίαση δέσμης

30 Διόρθωση αστιγματισμού της δέσμης

31 Επιλογή δυναμικού επιτάχυνσης

32 Διάμετρος Δέσμης

33 Διακριτική ικανότητα (nm) Επίδραση απόστασης εργασίας Απόσταση εργασίας (mm)

34 Επίδραση απόστασης πηγής από την άνοδο Διακριτική ικανότητα Απόσταση νήματος από την άνοδο σε μm Διάρκεια ζωής νήματος 15 ώρες Διάρκεια ζωής νήματος 60 ώρες Διάρκεια ζωής νήματος 45 ώρες

35 Βελτιστοποίηση όλων των παραμέτρων ανάλογα με το είδος του δείγματος

36 Κρύσταλλοι χαλκού πριν και μετά από διάβρωση Εφαρμογές

37 Κρύσταλλοι χαλαζία με καλσίτη Ελεγχος μικροδομής κρυστάλλων

38 Ελεγχος δομής μεμονωμένων κρυστάλλων Κρύσταλλος CaCO 3

39 Έλεγχος μορφολογίας Δείγμα Τέφρας Δασικής Υλης

40 Έλεγχος μορφολογίας Δείγμα Φίλτρου ΡΜ2.5 αιωρουμένων σωματιδίων ατμόσφαιρας

41 Έλεγχος μορφολογίας Δείγμα Φίλτρου ΡΜ10 αιωρουμένων σωματιδίων ατμόσφαιρας

42 ΚουνούπιΨύλλος Μαύρη αράχνη Σκουλήκι Βιολογικά υλικά

43 SEM και …τέχνη Αιμοφόρα αγγεία Αλάτι και πιπέρι 1 ο βραβείο φωτογραφίας 2005 Επιφάνεια ροδοπέταλου


Κατέβασμα ppt "SEM S canning E lectron M icroscope Ηλεκτρονιακό Μικροσκόπιο Σάρωσης Quanta 200 FEI Company."

Παρόμοιες παρουσιάσεις


Διαφημίσεις Google